空壓機(jī)電阻應(yīng)變式傳感器的分類

空壓機(jī)電阻應(yīng)變式傳感器可分為金屬絲電阻應(yīng)變片式與半導(dǎo)體應(yīng)變片式兩類。

1.金屬絲電阻應(yīng)變片

電阻絲在外力作用下產(chǎn)生機(jī)器變形時(shí)，其電阻值產(chǎn)生變化，此種征象稱之為電阻應(yīng)變效應(yīng)。電阻應(yīng)變片就是應(yīng)用這 種效應(yīng)的一種傳感器，其典范構(gòu)造如圖所示。

把一根 具有高電阻系數(shù)的金屬絲繞成柵形，粘貼在盡緣的基片和覆 蓋層之間，由引出導(dǎo)線接于電路上。

把應(yīng)變片用特制膠水粘固在彈性元件或須要丈量變形的 物體外貌上。在外力作用下，電阻絲即伴隨該物體一路變 形,將被丈量轉(zhuǎn)換為電阻變化。

根電阻值產(chǎn)生變化，是以, 其長(zhǎng)度當(dāng)電阻絲產(chǎn)生變形時(shí)，據(jù)電阻定律可知, 這種電阻應(yīng)變片電阻絲敏捷度s 多在1.7~3.6之間。

2.半導(dǎo)體應(yīng)變片

半導(dǎo)體應(yīng)變片較典范、較能單的構(gòu)造如圖所示。 它的使用方式與電阻絲式應(yīng)變片雷同，即粘貼在彈性元件或 被測(cè)物體上,隨被測(cè)件的應(yīng)變，其電阻產(chǎn)生響應(yīng)的變化。

它的事情道理是基于半導(dǎo)體資料的壓阻效應(yīng)。所謂壓阻 效應(yīng)是指單晶半導(dǎo)體資料，沿某一標(biāo)的目的受到外力作用 時(shí)，其電阻率p 產(chǎn)生變化的征象。

半導(dǎo)體應(yīng)變片較凸起的長(zhǎng)處是靈般來(lái)敏度高,說(shuō)，它比金屬絲 電阻應(yīng)變片敏捷度高50倍之多。別的,因?yàn)闄C(jī)器滯后小，橫 向效應(yīng)小以及它自己的體積小等長(zhǎng)處，年夜年夜地?cái)U(kuò)展了它的使 用范疇。

其毛病在于線性度和溫度不亂性顯著不及一般的測(cè) 量應(yīng)變片。絕管人們?yōu)榱耸怪蔀槲覀兯诳吹暮虾跻蟮?傳感器，采取了一些賠償手腕，但在普遍利用應(yīng)變片的領(lǐng)域 中，它只是起了輔助的作用。

近代，已研制在統(tǒng)一硅片上制成擴(kuò)散型應(yīng)變片和集成電 路放年夜器得到勝利。即集成應(yīng)變組件。這對(duì)付在主動(dòng)把持與 檢測(cè)中采取微處置測(cè)較技術(shù)將會(huì)起到必定的推動(dòng)作用。